发明名称 MOS DEVICE
摘要
申请公布号 EP0042552(A3) 申请公布日期 1982.05.05
申请号 EP19810104511 申请日期 1981.06.11
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI KABUSHIKI KAISHA 发明人 HATANO, HIROSHI
分类号 H01L21/02;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/822;H01L27/06;H01L27/08;H01L27/092;H01L27/12;H01L29/06;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/78 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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