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发明名称
摘要
申请公布号
JPS5741809(B2)
申请公布日期
1982.09.04
申请号
JP19730005970
申请日期
1973.01.12
申请人
发明人
分类号
H01L21/60;H01L21/288;H01L29/47;H01L29/861;H01L29/872
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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