| 发明名称 |
DEVICE AND METHOD FOR COATING OPTOCHEMICAL VAPOR PHASE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS57154839(A) |
申请公布日期 |
1982.09.24 |
| 申请号 |
JP19810201054 |
申请日期 |
1981.12.15 |
| 申请人 |
HUGHES AIRCRAFT CO |
发明人 |
JIYON DABURIYU PIITAAZU;FURANKU ERU GEBUHAATO |
| 分类号 |
B01J19/12;C23C16/04;C23C16/48;H01L21/205;H01L21/268;H01L21/31;H01L21/318 |
主分类号 |
B01J19/12 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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