发明名称 HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER EINE HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE3224287(A1) 申请公布日期 1983.01.13
申请号 DE19823224287 申请日期 1982.06.28
申请人 TOKYO SHIBAURA DENKI K.K. 发明人 NOGUCHI,HIDEO;IWAMOTO,TUGUNARI
分类号 H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/72;H01L21/88 主分类号 H01L21/8246
代理机构 代理人
主权项
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