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发明名称
HERSTELLUNGSVERFAHREN FUER EINE HALBLEITERVORRICHTUNG
摘要
申请公布号
DE3224287(A1)
申请公布日期
1983.01.13
申请号
DE19823224287
申请日期
1982.06.28
申请人
TOKYO SHIBAURA DENKI K.K.
发明人
NOGUCHI,HIDEO;IWAMOTO,TUGUNARI
分类号
H01L21/8246;H01L27/112;(IPC1-7):H01L21/72;H01L21/88
主分类号
H01L21/8246
代理机构
代理人
主权项
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