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发明名称
摘要
申请公布号	JPS5845535(U)	申请公布日期	1983.03.26
申请号	JP19810140499U	申请日期	1981.09.24
申请人		发明人
分类号	B08B3/00;B08B17/00;G03F1/00;G03F1/48;H01L21/027;H01L21/30	主分类号	B08B3/00
代理机构		代理人
主权项
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