发明名称 SOFT LANDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5862489(A) 申请公布日期 1983.04.13
申请号 JP19810158822 申请日期 1981.10.07
申请人 HITACHI SEISAKUSHO KK 发明人 SASAKI TAMOTSU;TAKAGAKI TETSUYA;IKEDA KENICHI
分类号 F27D3/04;B01J4/00;F27B5/02;F27D3/12;H01L21/22 主分类号 F27D3/04
代理机构 代理人
主权项
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