| 摘要 |
본 발명은 오프 축 정렬 시스템에 관한 것으로서, 광 빔 전파 경로에 따라 순차적으로 조명 모듈(10), 간섭 모듈(20) 및 검출 모듈(30)을 포함하며, 간섭 모듈(20)은 네 개의 측면을 가지며, 조명 모듈(10)과 검출 모듈(30)이 모두 제1측에 위치하는 편광 빔 분리기(21); 제1측과 마주하는 제2측에 순차적으로 위치되는 제1 사분의 일 파장판(22) 및 제1 반사경(23); 편광 빔 분리기(21)의 다른 양측에 각각 제2 사분의 일 파장판(24), 각뿔 프리즘(25)과 제3 사분의 일 파장판(26), 제2 반사경(27) 및 렌즈(28)가 설치되며, 제2 반사경(27)은 렌즈(28)의 후초점면에 위치하고, 각뿔 프리즘(25)의 밑면 중심은 렌즈(28)의 광축에 위치하는 오프 축 정렬 시스템이다. 또한 오프 축 정렬방법을 포함한다. |
