发明名称
摘要
申请公布号 JPS60775(B2) 申请公布日期 1985.01.10
申请号 JP19780056006 申请日期 1978.05.11
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YASUDA HIROSHI;OSADA TOSHIHIKO
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/302 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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