| 摘要 |
<P>LA PRESENTE INVENTION CONCERNE UN APPAREIL POUR MESURER LES IMPURETES DANS L'EAU ULTRAPURE, COMPORTANT DES ELECTRODES 3, 4 DISPOSEES RESPECTIVEMENT A L'INTERIEUR ET A L'EXTERIEUR DU DETECTEUR 1; UN COURANT ELECTRIQUE CIRCULE ENTRE LES ELECTRODES 3, 4 PAR L'INTERMEDIAIRE DE L'ELECTROLYTE A; ET UNE IMPULSION DE TENSION REPRESENTATIVE D'UNE VARIATION DE RESISTANCE, QUI EST OBTENUE LORSQU'UNE IMPURETE DE L'EAU ULTRAPURE B EN SUSPENSION DANS L'ELECTROLYTE A PASSE PAR LE PETIT TROU 2 DU DETECTEUR 1, EST ENGENDREE; UN DISPOSITIF DE DEGAZAGE 14 COMPORTANT UN TUBE DISPOSE DANS UNE ENCEINTE SOUS PRESSION REDUITE ET CONSTITUE D'UNE RESINE SYNTHETIQUE POUR PERMETTRE LE PASSAGE DES GAZ ET INTERDIRE LE PASSAGE DES LIQUIDES, EST DISPOSE DANS LE TRAJET D'ALIMENTATION EN ELECTROLYTE A DU DETECTEUR 1; ET L'ELECTROLYTE A EST MIS EN CIRCULATION DANS LE TUBE DU DISPOSITIF DE DEGAZAGE 14 ET EST ENVOYE DANS LE DETECTEUR 1.</P><P>UTILISATION DANS LE CADRE D'UNE FABRICATION DE SEMI-CONDUCTEURS POUR CIRCUITS INTEGRES.</P>
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