| 摘要 |
봉지막은, 소자층 상면의 요철형상에 대응하여 볼록부를 표면에 갖는 제1 무기층과, 제1 무기층의 표면을 덮는 제2 무기층과, 제1 무기층 및 제2 무기층의 상이에 있는 유기층을 포함한다. 제1 무기층의 표면은, 볼록부의 주위 영역에서 볼록부로 변해 가는 반곡영역과, 소자층을 둘러싸는 위치에 평탄하게 형성된 평탄영역을 갖는다. 평탄영역은, 제1 무기층의 외단에 있는 외주영역과, 외주영역의 내측에 반곡영역에 인접하는 내주영영을 포함한다. 유기층은, 외주영역에 단부를 갖고, 반곡영역에 다른 부분을 갖고, 내주영역을 피해서 구비되어 있다. 내주영역에는, 제2 무기층의 일부가, 제1 무기층의 표면에 접촉하도록 위치한다. |
