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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON VERSETZUNGSFREIEN EINKRISTALLSTAEBEN AUS SILICIUM
摘要
申请公布号 DE3333960(A1) 申请公布日期 1985.04.04
申请号 DE19833333960 申请日期 1983.09.20
申请人 WACKER-CHEMITRONIC GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE MBH 发明人 HERZER,HEINZ,DIPL.-PHYS.DR.;HENSEL,WOLFGANG,DIPL.-ING.;MATUSZAK,GUENTER
分类号 C30B13/00;C30B29/06;(IPC1-7):C30B13/00 主分类号 C30B13/00
代理机构 代理人
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