| 发明名称 |
JAUGE DE HAUTEUR A CAPACITE ET PROCEDE ET APPAREIL D'ETALONNAGE DE CETTE JAUGE |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UNE JAUGE DE HAUTEUR A CAPACITE ET UN PROCEDE ET UN APPAREIL D'ETALONNAGE D'UNE TELLE JAUGE.</P><P>UN SUBSTRAT 110 EST SUPPORTE PRES D'UNE SURFACE D'OBJET 145 ET UN CIRCUIT DE CONDENSATEUR DE REFERENCE 40, 42 EST MONTE SUR LE SUBSTRAT. LE CIRCUIT COMPORTE UN CONDENSATEUR DE REFERENCE AVEC DES ARMATURES 130, 134 SEPAREES D'UNE DISTANCE NOMINALE, ET CE CIRCUIT PRODUISANT EN FONCTIONNEMENT UN SIGNAL REPRESENTANT LA CAPACITE DU CONDENSATEUR DE REFERENCE.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE NOTAMMENT A DES APPAREILS DE LITHOGRAPHIE A FAISCEAU ELECTRONIQUE.</P>
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| 申请公布号 |
FR2554223(A1) |
申请公布日期 |
1985.05.03 |
| 申请号 |
FR19840016437 |
申请日期 |
1984.10.26 |
| 申请人 |
CONTROL DATA CORP |
发明人 |
JOHN RICHARD SHAMBROOM ET ALAN PAUL SLISKI;SLISKI ALAN PAUL |
| 分类号 |
G01B3/00;G01B7/06;G01B7/14;G01B11/14;G01B21/16;G03F9/00;G03F9/02;H01J37/304;(IPC1-7):G01B7/08;G01D5/24 |
主分类号 |
G01B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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