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发明名称 METHOD OF FORMING SEMICONDUCTOR STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPS6079721(A) 申请公布日期 1985.05.07
申请号 JP19840116744 申请日期 1984.06.08
申请人 INTERN BUSINESS MACHINES CORP 发明人 MAUSA HENA ISHIYAAKU;SUTANREE ROBAATSU;JIEEMUZU GAADONAA RAIAN
分类号 H01L21/28;H01L21/225;H01L21/285 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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