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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6097766(U)
申请公布日期
1985.07.03
申请号
JP19830191626U
申请日期
1983.12.13
申请人
发明人
分类号
C23C14/34;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C14/34
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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