发明名称 Actuator Stage Apparatus Exposure Apparatus
摘要 본 발명의 일 측면은 2자유도의 구동이 가능하고 공간적 제약을 극복할 수 있도록 소형화된 액츄에이터에 관한 것으로, 본 발명의 실시예에 따른 액츄에이터는 베이스부재;와, 베이스부재에 결합되는 볼 스크류부와, 볼 스크류부에 나사 결합되는 볼 너트부를 포함하는 볼 스크류부재;와, 볼 너트부에 결합되어 볼 너트부와 연동되는 구동부재;와, 구동부재에 연동하여 제1방향으로 이동되는 제1방향 변위부재;와, 구동부재에 결합되어 구동부재에 연동하여 제2방향으로 이동되는 쐐기부재;와, 쐐기부재에 연동되어 제2방향으로 이동되는 제2방향 변위부재;와, 구동부재와 제1방향 변위부재 또는 쐐기부재와 제1방향 변위부재 또는 제1방향 변위부재와 베이스부재 중 적어도 어느 하나를 결속시키는 결속부재;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
申请公布号 KR101670670(B1) 申请公布日期 2016.11.01
申请号 KR20090120694 申请日期 2009.12.07
申请人 삼성전자 주식회사 发明人 홍상준;박상현;장상돈;김의석;구자춘;인용석;장정웅;김유창
分类号 H01L21/68;H01L21/027 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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