摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE UN PROCEDE POUR EXPOSER, A TRAVERS UN MASQUE, DES PETITES SECTIONS D'UNE PASTILLE DE SEMI-CONDUCTEUR, EN SUCCESSION, A LA LUMIERE RAYONNEE PAR UNE LAMPE A VAPEUR DE MERCURE EN DES ETAPES A UN NIVEAU HAUT, PENDANT CHACUNE DESQUELLES LA CONSOMMATION DE COURANT DE LA LAMPE EST A UN NIVEAU HAUT, EN ECLAIRANT CONTINUELLEMENT LA LAMPE ET EN ALTERNANT DE MANIERE REPETEE CHAQUE ETAPE A UN NIVEAU HAUT ET UNE ETAPE A UN NIVEAU BAS PENDANT LAQUELLE LA CONSOMMATION DE COURANT DE LA LAMPE EST A UN NIVEAU BAS.</P><P>SELON L'INVENTION, L'ETAPE A UN NIVEAU HAUT EST REPETEE EN AUGMENTANT GRADUELLEMENT LA CONSOMMATION DE COURANT DE LA LAMPE A VAPEUR DE MERCURE 1 AVEC LE TEMPS D'ECLAIREMENT AFIN DE COMPENSER UNE REDUCTION GRADUELLE DE LA QUANTITE DE LUMIERE RAYONNEE PAR LA LAMPE; UN OBTURATEUR 4 EST OUVERT ET FERME UNE SEULE FOIS PENDANT CHAQUE ETAPE AU NIVEAU HAUT AFIN D'EXPOSER LA PETITE SECTION CORRESPONDANTE DE LA PASTILLE DE SEMI-CONDUCTEUR 2 A UNE POSITION D'EXPOSITION.</P><P>L'INVENTION S'APPLIQUE A LA FABRICATION DE CIRCUITS INTEGRES.</P>
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