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发明名称 BURN-IN APPARATUS OF SEMICONDUCTOR APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6144369(A) 申请公布日期 1986.03.04
申请号 JP19840166223 申请日期 1984.08.07
申请人 SHARP CORP 发明人 TAKAOKA MASUKICHI;OKANO NOBUO
分类号 G01R31/28;G01R31/26 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
主权项
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