自动传送片机构

摘要

本实用新型《自动传送片机构》是关于半导体工艺设备中传送片机构的改进，属于半导体制造工艺设备。它通过传送杆机械手和升降顶片杆与微机相联，能自动直接送片，片子处理加工完成后亦可连续取回。整个传送机构简单、操作方便，无碎片现象。处理加工后的片子均匀一致。本传送片机构适用于半导体制造工艺中需要传送片的等离子刻蚀、反应离子刻蚀、化学气相沉积和磁控溅射等设备。

主权项

1.一种半导体工艺设备中包括机械叉、升降顶片杆、片盒、机械传送 杆和控温工作平台的传送片机构，其特征在于有一个由传动装置带 动的传送杆与机械叉连成一体的可自动直接传送片的传送杆机械手 〔2〕和一个其上面有多个由升降顶片杆〔14〕顶起或降下的载片座 〔15〕的可转光控定位控温工作平台〔10〕。