发明名称 METHOD OF DETERMINING THICKNESS OF REAL LAYERS IN MULTILAYER EPITAXIAL STRUCTURES
摘要
申请公布号 PL254093(A1) 申请公布日期 1987.01.12
申请号 PL19850254093 申请日期 1985.06.20
申请人 POLSKA AKADEMIA NAUK INSTYTUT 发明人 KUZNICKI ZBIGNIEW T
分类号 G01R31/26;H01L;H01L21/66;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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