发明名称 |
METHOD OF DETERMINING THICKNESS OF REAL LAYERS IN MULTILAYER EPITAXIAL STRUCTURES |
摘要 |
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申请公布号 |
PL254093(A1) |
申请公布日期 |
1987.01.12 |
申请号 |
PL19850254093 |
申请日期 |
1985.06.20 |
申请人 |
POLSKA AKADEMIA NAUK INSTYTUT |
发明人 |
KUZNICKI ZBIGNIEW T |
分类号 |
G01R31/26;H01L;H01L21/66;(IPC1-7):H01L/ |
主分类号 |
G01R31/26 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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