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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS629676(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850148619 申请日期 1985.07.05
申请人 NEC CORP 发明人 ASAI SHUJI
分类号 H01L29/812;H01L21/265;H01L21/338;H01L29/80 主分类号 H01L29/812
代理机构 代理人
主权项
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