| 发明名称 |
METHOD AND INSTRUMENT FOR NONCONTACT MEASUREMENT OF CONDUCTIVITY OF SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6228674(A) |
申请公布日期 |
1987.02.06 |
| 申请号 |
JP19850169306 |
申请日期 |
1985.07.30 |
| 申请人 |
SHINETSU ENG KK;SHINKAWA DENKI KK |
发明人 |
KATAGIRI KIYOO;MUTSUKAWA AKINORI;NISHIZAWA TATSU;MATSUHASHI KANJI;IMAIKE HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01R27/02;G01R31/28 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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