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发明名称 PHOTOCHEMICAL VAPOR GROWTH APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS6262514(A) 申请公布日期 1987.03.19
申请号 JP19850202010 申请日期 1985.09.12
申请人 FUJITSU LTD 发明人 ISHII HIDEO
分类号 H01L21/205;H01L21/263;H01L21/302 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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