MESUREUR D'EPAISSEURS DE REVETEMENTS PAR INTERFEROMETRIE ULTRASONORE

摘要

L'invention se rapporte à un procédé en vue de l'amélioration de la résolution d'un dispositif de mesure de l'épaisseur de couches de matériaux par interférométrie ultra-sonore.
Il est caractérisé en ce que :
- on détecte parmi les échos engendrés d'une part, un écho de battement caractéristique de l'interférence d'échos dans le milieu 1 considéré et, d'autre part, un écho dit écho pilote décalé de l'écho de battement et dont l'amplitude est directement liée à celle de l'impulsion d'émission ;
- on compare le niveau de l'écho pilote à une consigne prédéterminée 24 et on élabore une commande 25 proportionnelle à l'écart constaté ;
- en fonction de cette commande, par un moyen correcteur 26 situé en amont du dispositif de traitement 9 des échos, on influence de manière uniforme l'amplitude des signaux représentatifs de l'écho de battement et de l'écho pilote ;
- on reprend le procédé à l'étape initiale.
Application à l'industrie du matériel de métrologie.
(CF DESSIN DANS BOPI)