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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6238862(B2)
申请公布日期
1987.08.20
申请号
JP19780007247
申请日期
1978.01.27
申请人
HITACHI LTD
发明人
KUGIMYA HARUO;TAKAHASHI MOTOHIRO
分类号
H01L23/50;H01L23/48
主分类号
H01L23/50
代理机构
代理人
主权项
地址
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