| 摘要 |
본 발명은 흡착 유지부의 유지면에 부착된 이물을 제거한다. 실시 형태의 일 형태에 관한 이물 제거 장치는, 기판을 흡착 유지하는 흡착 유지부의 유지면에 부착된 적어도 하나의 이물을 검출하는 검출부와, 상기 유지면에 부착된 적어도 하나의 이물을 유체를 사용해서 제거하는 제거부와, 상기 검출부 및 상기 제거부를 이동시키는 이동 기구를 구비한다. 실시 형태의 일 형태에 관한 이물 제거 장치는, 기판을 흡착 유지하는 흡착 유지부의 유지면에 대하여 유체를 분출하는 분출부와, 상기 분출부에 인접해서 배치되고, 유체를 흡인하는 흡인부를 구비한다. 본 발명은 흡착 유지부의 유지면에 부착된 이물을 검출한다. 실시 형태의 일 형태에 관한 이물 검출 방법은, 기판을 흡착 유지하는 흡착 유지부의 유지면에 대하여 경사 방향으로부터 광을 조사하는 투광 공정과, 상기 유지면에 조사된 광의 반사광을 유지면에 대하여 경사 방향으로부터 수광하는 수광 공정을 포함한다. |
