发明名称 HIGH-SPEED VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
申请公布号 JPS63461(A) 申请公布日期 1988.01.05
申请号 JP19860142890 申请日期 1986.06.20
申请人 NIPPON KOKAN KK <NKK> 发明人 KANEKO FUMITAKA
分类号 C23C14/30 主分类号 C23C14/30
代理机构 代理人
主权项
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