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发明名称
IC WITH BUILT-IN TEST CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS6310538(A)
申请公布日期
1988.01.18
申请号
JP19860155513
申请日期
1986.07.01
申请人
NEC CORP
发明人
HAYASHI YUTAKA
分类号
H01L21/66;G01R31/28;H01L21/822;H01L27/04
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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