| 主权项 |
1﹒一种电子束装置,包括一电子射极(1),一未乃耳特圆柱(2),一阳极(3),一电子束遮没装置(4)及用于该电子所发射之电子束(18)之调变及校准之一电子─光学系统,其特征为该阳极及该电子束遮没装置构成安装在该电子束装置内作为一整体单立之一机械式积体之单位。2﹒根据上述请求专利部份第1项所述之电子束装置,其特征为该阴极,未乃耳特圆柱,阳极及电子束遮没装置构成一机械式积体之整体单位。3﹒根据上述请求专利部份第1或2项所述之电子束装置,其特征为该阳极/电子束遮没单位包括容纳在一垫圈(49)内之一组静电偏向板(60),一激励隔膜(62),及一阳极板(52),此阳极板设有具内径(53)。4﹒根据上述请求专利部份之任何一项所述之电子束装置,其特征为该阴极─未乃耳特─阳极─电子束遮没单位构成一坚固之总成,此总成安装于该电子束装置内,因而成为可移开之一整体单位。5﹒根据上述请求专利部份第4项所述之电子束装置,其徵为该等因此而构成之阴极/未乃耳特圆柱/阳极/电子束遮没单位连接至该外(11)之基板体及安装于该电子束装置内而成为可移开之一整体单位。6﹒根据上述请求专利部份之任何一项所述之电子束装置,其特征为陶瓷连接元件(46)用于一机械整体单位内被此电绝缘之各零件之安装。 |
