MEDIA ISOLATED DIFFERENTIAL PRESSURE SENSORS

摘要

Un capteur (10) de pression différentielle à diaphragme de déflexion est formé de sorte que tous les éléments électriques (30A-30D) et toutes les connexions (34B) du réseau de circuit externe au capteur (10) sont isolés du milieu de pression. Le diaphragme de déflexion (22) captant la pression est constitué d'un matériau semi-conducteur ayant des piézorésistances disposées sur une surface (25) du matériau semi-conducteur pour former des jauges de contrainte qui détectent la déflexion du diaphragme (22). Les résistances des jauges de pression sont isolées du milieu de pression par une couche qui est placée au-dessus des résistances des jauges de contrainte. Toutes les formes d'exécution de l'invention protègent contre l'environnement les connexions électriques des circuits externes, soumises à la corrosion due au milieu de pression.