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发明名称 THIN FILM VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6333560(A) 申请公布日期 1988.02.13
申请号 JP19860173749 申请日期 1986.07.25
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUKASAKI TAKASHI
分类号 C23C14/32;C23C14/26 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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