钽铌器件熔盐电解法制膜及产品

摘要

本发明涉及在钽铌器件上熔盐电解制膜的工艺方法及产品。用熔融锂盐电化学反应在钽或铌或钽铌合金器件表面生成一层含有钽或铌的含氧化合物的薄膜(如钽酸锂或锂的铌酸盐等)，可改进器件的许多性能，膜的击穿电压达1500伏以上，表面硬度最高可达Hv700左右。能提高器件表层的弹性，强度及改变其他物理、电学性能。可以改善钽或铌或钽铌合金器件的使用效果，扩大钽和铌的应用范围。用于钽喷丝板，减少堵孔提高纤维质量。还可应用于石油化工上的钽制器件，薄膜热探测器的衬底及制作抗磨弹性元件等。

主权项

1.制造表面具有钽、铌、或者钽和铌的含氧化合物薄膜的钽、铌或钽铌合金器件的工艺方法，其特征在于，该工艺方法包括下述步骤：(1)用已知方法除尘除油，再酸腐蚀清洗钽、铌金属器件的表面，必要时，接着，在器件上施加阳极电压，用含氢氟酸的强酸性溶液溶蚀金属器件的表面层，除去表面上或表面层的杂质；〔2)将清洗后的金属器件置于选自LiNO3，LiNO3与KNO3的混合物以及LiNO3与LiOH的混合物的熔融浴中，控制熔融浴的温度在430～580℃之间，对器件施加3～45伏特的阳极电压，以2～20毫安/平方厘米或者20毫安/平方厘米以上的电流密度，进行电解；(3)将所得带膜器件在170～400℃的条件下热处理老化1～4小时，必要时，在热处理之前，将带膜器件置于2个体积乙二醇和1个体积0.05％(重量)的磷酸混合液中，在90℃±5℃的温度，施加500～600伏电压，恒压2～3小时，然后再置于0.01％(重量)的磷酸中，室温加350伏电压，恒压1小时。