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经营范围
发明名称
METHOD FOR DEPOSITING LOW-STRESS THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6393861(A)
申请公布日期
1988.04.25
申请号
JP19860236209
申请日期
1986.10.06
申请人
NEC CORP
发明人
NOMURA HIDEKAZU
分类号
C23C14/38;C23C14/40
主分类号
C23C14/38
代理机构
代理人
主权项
地址
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