| 摘要 |
Сейсмічний датчик вібрацій складається з корпусу, в якому інерційна маса закріплена на пружині та з'єднана з пружним елементом, на якому розміщені тензорезистори, сполучені у вимірювальну схему. Тензорезистори виконані на основі ниткоподібних кристалів кремнію з кристалографічною орієнтацією. |
