基于GPU与网栅快速压缩掩膜版和晶圆影像数据的方法

摘要

本发明涉及一种基于GPU与网栅快速压缩掩膜版和晶圆影像数据的方法，基于图像二值化；包括1)为图像的并行分配相应硬件资源；2)利用相机采集数据至服务器后，不缓存到磁盘，直接把数据从HOST侧传输到DEVICE侧；3)在GPU中对影像数据进行滤波处理；4)在GPU中的黑白影像数据得到二值化的阈值，然后进行二值化处理,最后得到二值化图形数据；5)采用交叉运算方式，根据网格点的坐标与相交图的坐标进行比较；6)把抽取出的网格矩阵转化成标准的BMP格式的影像；7)从DEVICE侧，把并行网格化得到的数据拷贝到HOST侧，进行后续数据处理。本发明可以有效节省硬件计算资源，并有效提升计算效率，检测速度更快。

主权项

一种基于GPU与网栅快速压缩掩膜版和晶圆影像数据的方法，其特征在于：基于图像二值化；包括以下步骤：1)为图像的并行分配相应硬件资源；2)利用相机采集数据至服务器后，不缓存到磁盘，直接把数据从HOST侧传输到DEVICE侧；3)在GPU中对影像数据进行滤波处理；4)在GPU中的黑白影像数据得到二值化的阈值，然后进行二值化处理,最后得到二值化图形数据；5)采用交叉运算方式，根据网格点的坐标与相交图的坐标进行比较，若相交，则该网格被填充，该网格中的其他点不参与运算；6)把抽取出的网格矩阵转化成标准的BMP格式的影像；7)从DEVICE侧，把并行网格化得到的数据拷贝到HOST侧，进行后续数据处理。