| 发明名称 | 抗反射涂料组合物及其方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种新的吸收性抗反射涂料组合物，其包含新的可交联的聚合物，该聚合物包含至少一种具有结构(1)的重复单元(A)、至少一种具有结构(2)的重复单元(B)和至少一种具有结构(3)的重复单元(C)。<img file="DDA0001116769530000011.GIF" wi="1830" he="491" />其中D是直接价键或者C(R<sub>1</sub>)(R<sub>2</sub>)亚甲基结构部分，其中R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立的是H、C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷基、C<sub>3</sub>‑C<sub>24</sub>环烷基或者C<sub>6</sub>‑C<sub>24</sub>芳基；Ar<sup>i</sup>、Ar<sup>ii</sup>、Ar<sup>iii</sup>和Ar<sup>iv</sup>独立的是苯系和萘系结构部分，R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>独立的是氢或者C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷基；和R5和R6独立的是氢或者C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷基；和溶剂。本发明还涉及使用该新的抗反射涂料组合物形成图像的方法。 | ||
| 申请公布号 | CN106170737A | 申请公布日期 | 2016.11.30 |
| 申请号 | CN201580014961.0 | 申请日期 | 2015.04.22 |
| 申请人 | AZ电子材料卢森堡有限公司 | 发明人 | M·D·拉曼;工藤隆范;A·D·迪尔西斯;D·麦克肯兹;C·安雅狄格伍;M·派德曼娜斑;S·K·穆伦 |
| 分类号 | G03F7/038(2006.01)I;G03F7/09(2006.01)I;C09D165/00(2006.01)I;G03F7/16(2006.01)I;G03F7/30(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/038(2006.01)I |
| 代理机构 | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人 | 王长青 |
| 主权项 | 一种抗反射涂料组合物，其包含：i)可交联的聚合物，其包含至少一种具有结构(1)的重复单元(A)、至少一种具有结构(2)的重复单元(B)和至少一种具有结构(3)的重复单元(C)<img file="FDA0001116769500000011.GIF" wi="1726" he="507" />其中D是直接价键或者C(R<sub>1</sub>)(R<sub>2</sub>)亚甲基结构部分，其中R<sub>1</sub>和R<sub>2</sub>独立的是H、C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷基、C<sub>3</sub>‑C<sub>24</sub>环烷基或者C<sub>6</sub>‑C<sub>24</sub>芳基；Ar<sup>i</sup>、Ar<sup>ii</sup>、Ar<sup>iii</sup>和Ar<sup>iv</sup>独立的是苯系和萘系结构部分，R<sub>3</sub>和R<sub>4</sub>独立的是氢、C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷基或者C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷氧基；R<sub>5</sub>和R<sub>6</sub>独立的是氢、C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷基或者C<sub>1</sub>‑C<sub>8</sub>烷氧基；和，ii)溶剂。 | ||
| 地址 | 卢森堡卢森堡 | ||