衬底上薄膜的特性监测设备

摘要

一种测定和显示敷在玻璃条板表面的薄膜的精选特性的设备，该设备包括一装在导轨上以便在玻璃条板带薄膜的表面上方移动的扫描头。扫描头有一光脉冲源，该光脉冲源由一钨丝灯和一遮光器产生，经滤光以模拟昼光，然后聚焦到敷有薄膜的表面上。扫描头上还有装有一积分球，球壁上开有一入口，用以收集从薄膜表面反射回来的部分光。

主权项

1、一种衬底上薄膜特选特性测定设备，该测定设备包括：一扫描头，安装得使其可沿距某一衬底表面一段距离通常为线性的路径运动；一光源，附在所述扫描头上；一导光装置，用以引导所述光源的光束使其照射到衬底表面；一集光装置，附在所述扫描头上，用以将衬底表面反射回来的所述光束的至少一部分收集起来；其特征在于，该测定设备还包括：一输出信号发生装置，用以根据所述收集到的光产生表示所述光束的至少两种不同特性的输出信号；和一薄膜特性测定装置，用以根据所述输出信号测定在衬底表面上形成的薄膜的至少一种特性。