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经营范围
发明名称
FURNACE TUBE
摘要
申请公布号
JPS644016(A)
申请公布日期
1989.01.09
申请号
JP19870159389
申请日期
1987.06.25
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
TESHIGAHARA HITOSHI
分类号
H01L21/31;H01L21/22
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
地址
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