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发明名称
ETCHING OF THIN FILM PATTERN
摘要
申请公布号
JPS6411399(A)
申请公布日期
1989.01.13
申请号
JP19870166639
申请日期
1987.07.03
申请人
OKI ELECTRIC IND CO LTD
发明人
KATO TAKAYUKI
分类号
H01L21/306;H05K3/06;H05K3/46
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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