发明名称 EXHAUST SYSTEM IN GAS REACTOR FOR PRODUCING PLASMA POLYMERIZED FILM REPLICA
摘要
申请公布号 JPS6428361(A) 申请公布日期 1989.01.30
申请号 JP19870181129 申请日期 1987.07.22
申请人 USHIO INC 发明人 TANAKA AKIRA
分类号 C23C14/12;C23C14/56 主分类号 C23C14/12
代理机构 代理人
主权项
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