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发明名称 VACUUM TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6431971(A) 申请公布日期 1989.02.02
申请号 JP19870188030 申请日期 1987.07.28
申请人 TOKUDA SEISAKUSHO LTD;TOSHIBA CORP 发明人 KINOKIRI KYOJI;WATANABE OSAMU;OKUMURA KATSUYA;ARAKI TOSHINOBU;SONE KAZUYOSHI
分类号 C23C14/56;H01L21/203 主分类号 C23C14/56
代理机构 代理人
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