| 摘要 |
질량 유량계는 히터부(13)의 양측에 각각 제 1, 제 2 센서부(11, 12)가 형성된 유량 센서(10)를 구비한다. 유량 센서(10)는 열가소성 수지로 구성되고, 복수 적층된 절연층(100, 110, 120)과, 이들의 절연층에 대하여 형성되고, 서로 접속된 제 1, 제 2 도전체(130, 140)를 구비하고, 복수의 절연층(100, 110, 120)이 가열하면서 가압되어 일체화한 다층 기판으로 구성된다. 히터부(13)로부터 방출된 열을 갖는 유체가 유량 센서(10)의 일면을 따라서 이동했을 때에 제 1, 제 2 센서부(11, 12)는 각각의 영역에 있어서의 일면과 타면의 사이에 발생하는 온도차에 따른 크기의 기전력을 발생한다. 유량 센서(10)는 복수의 절연층이 가열하면서 가압되어 일체화되어 제조된 구조이고, 다이어프램 바로 아래의 공간과 같은 큰 공간이 존재하지 않는 구조이기 때문에 다이어프램 구조를 갖는 센서보다도 파손되기 어렵다. |
