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发明名称 MOLECULAR BEAM EPITAXIAL METHOD
摘要
申请公布号 JPS6476997(A) 申请公布日期 1989.03.23
申请号 JP19870232281 申请日期 1987.09.18
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NOGAMI TAKESHI;MORITSUKA KOHEI
分类号 C30B23/08;H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
主权项
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