| 摘要 |
막 두께가 얇고 또한 고밀봉 성능을 갖는 적층 밀봉막을, 생산성의 저하나 이물 부착을 억제하면서 형성한다. 기판(101) 상에 발광층인 유기 EL층(102)이 복수 형성된 유기 EL 소자 S 상에, 무기막(201)과 유기막(202)이 적층된 구조의 적층 밀봉막(203)을 형성할 때, 원자층 퇴적법에 의해 무기막(201)을 형성하는 공정과, 증착 중합법에 의해 유기막(202)을 형성하는 공정을, 하나의 처리 용기(11) 내에서 교대로 복수회 반복한다. |
