发明名称 TEST HANDLER FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6484163(A) 申请公布日期 1989.03.29
申请号 JP19870243069 申请日期 1987.09.28
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 FURUSHIMA TAKENARI;TERAUCHI TSUNEO
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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