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发明名称 LOW PRESSURE CVD SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH01115118(A) 申请公布日期 1989.05.08
申请号 JP19870273743 申请日期 1987.10.29
申请人 NEC CORP 发明人 KARITA YUTAKA
分类号 H01L21/205;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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