| 发明名称 |
FORMATION OF RESIST PATTERN |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH01130527(A) |
申请公布日期 |
1989.05.23 |
| 申请号 |
JP19870289682 |
申请日期 |
1987.11.17 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
HARADA DAIICHI;ITO YOSHIO |
| 分类号 |
G03F7/095;G03C1/00;G03F7/00;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/095 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
