| 主权项 |
1.一种高稳定性金属膜,其片电阻为每平方二千至一万五千欧姆,其构成合一绝缘性基质及两层导电金属,两层金属之电阻温度系数之符号系相反,其特点为:第一层系由第一导电金属构成,具有正电阻温度系数及负电阻温度系数斜度,系反应性况积于所述基质上并经徐冷,以及其特点为第二层系由第二导电金属构成,具有负电阻温度系数及正电阻温度系数斜度,系共延况积于徐冷过之第一层上并与第一层徐冷。2.根据申请专利范围第1项之膜,其中该第一层为金属矽化物。3.根据申请专利范围第1项之膜,其中该第二层为金属合金。4.根据申请专利范围第1项之膜,其中第一层为氮化矽铬(CrSiN),系由矽化铬(CrSi)于氩及氮中作反应性喷镀而产生。5.根据申请专利范围第1项之膜,其中该第二屑为镍铬铝(NiCrAl),而该镍铬铝条于氩中予以喷镀。6.根据申请专利范围第1项之膜,其中该第二层为镍铬铝,而该镍铬铝条于氩及氮中行反应性喷镀。7.根据申请专利范围第1项或第4项之胺,其中该第一层系于摄氏五百度在空气中徐冷。8.根据申请专利范围第1.5或6项之膜,其中该第二层与第一层系一起于摄氏二百度于空气中徐冷。 |
