发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH01235349(A) 申请公布日期 1989.09.20
申请号 JP19880062449 申请日期 1988.03.16
申请人 SONY CORP 发明人 HOZUMI HIROKI;MIWA HIROYUKI;GOMI TAKAYUKI;NAKAMURA MINORU;KASHIWANUMA AKIO
分类号 H01L21/76;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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