发明名称 FORMATION OF FINE PATTERN
摘要
申请公布号 JPH01239934(A) 申请公布日期 1989.09.25
申请号 JP19880065907 申请日期 1988.03.22
申请人 HIKARI GIJUTSU KENKYU KAIHATSU KK 发明人 TAKAHASHI SHIGEKI;NISHIBE TORU;UEMATSU YUTAKA
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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