发明名称 Method of production galvanically deposited aluminum layers for use as contacts of microcircuits
摘要 Contacts of microcircuits are produced by galvanically depositing aluminum layers on a substrate carrying a microcircuit.
申请公布号 US4869926(A) 申请公布日期 1989.09.26
申请号 US19870027491 申请日期 1987.03.17
申请人 SCHERING AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 BOCK, MARTIN;TENBRINK, DETLEF
分类号 H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/60;H01L21/768;H05K1/09;H05K3/18;H05K3/24 主分类号 H01L23/52
代理机构 代理人
主权项
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